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在線面測厚/面測油污/面測色方案:SPECIM高光譜相機(jī)

發(fā)布于:2025-04-03
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Specim FX系列高光譜相機(jī)是專為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)的高光譜相機(jī),可根據(jù)目標(biāo)樣品的化學(xué)成分獲得可靠的分類結(jié)果。其高幀頻可滿足高速工業(yè)應(yīng)用的需求、堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)與小巧的尺寸則便于現(xiàn)場的靈活安裝。

Specim FX系列高光譜相機(jī)

產(chǎn)品特征

非接觸、非破壞性、在線式

高速成像

寬光譜波段可選

體積小,適合多種空間

具有MROI功能的100% 成像覆蓋率

無需校準(zhǔn)即可互換

兼容現(xiàn)有和新系統(tǒng)

重量輕,便于運(yùn)輸

隨時隨地進(jìn)行軟件更新

工作原理

Specim工業(yè)高光譜相機(jī),采用線掃描方式,通過傳送物體可以檢測整個物體表面,相機(jī)逐行掃描沿一個方向移動的樣品,記錄被掃描線上每個像素的光譜信息。

Specim工業(yè)高光譜相機(jī)工作原理

產(chǎn)品應(yīng)用

1. 在線整面測油污

電極材料(銅箔、鋁箔)油污清潔度檢測

Specim工業(yè)高光譜相機(jī)可以檢測電極材料微小的油滴或污染情況,油污分布可視化。

Specim工業(yè)高光譜相機(jī)可以檢測電極材料微小的油滴或污染情況,油污分布可視化

2. 在線整面測厚

(1)薄膜厚度檢測

Specim FX17高光譜相機(jī)可以檢測整個薄膜或涂層的厚度。 在每條線掃描數(shù)據(jù)中,光譜數(shù)據(jù)能覆蓋薄膜的整個寬度,并且有很高的空間分辨率。

Specim FX17高光譜相機(jī)可以檢測整個薄膜或涂層的厚度

(2)晶圓表面污染檢測

Specim高光譜相機(jī)可以檢測污染物,精確測量薄膜厚度(抗蝕劑、氧化物、氮化物等)的面積分布以及表面狀況參數(shù)。

Specim高光譜相機(jī)可以檢測污染物,精確測量薄膜厚度

3. 在線整面測色

Specim高光譜相機(jī)在色彩測量準(zhǔn)確度上優(yōu)于人眼和RGB相機(jī),可以采集目標(biāo)物的反射光譜信息并使用Lab顏色空間來分析光譜信息,可用于精確識別和量化物體中存在的顏色,包括人眼可能無法察覺的細(xì)微顏色變化。在可見光區(qū)域,可以實(shí)現(xiàn)非常高的顏色分離度。Specim高光譜相機(jī)可以非破壞式測量色彩并進(jìn)行快速實(shí)時分析,自動化工作流程,支持測量顏色、對比度和亮度。

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