對涂層厚度的精確性測量非常要求，涂層太薄太厚，都會影響性能，例如在鋰電池行業(yè)，鋰電池隔膜太薄可能會造成短路，太厚會影響電池的能量密度，因此在線精確測量涂層整面厚度至關(guān)重要。不同行業(yè)對膜厚以及對應(yīng)的膜厚精度要求各有不同，例如，鋰電涂料行業(yè)，往往要求膜厚在10um到2000um之間，精度要求小于1um；而在半導(dǎo)體行業(yè)，如太陽能，芯片等的膜厚，要求在1nm到100nm之間，精度要求高，在0.1nm到1nm之間。
傳統(tǒng)單點厚度測量，只能測量測量涂層單個點的涂層厚度，在實際應(yīng)用過程中，無法快速了解整面涂層的厚度，生產(chǎn)效率低。
使用SPECIM FX17推掃式高光譜成像系統(tǒng)，可以及時檢測涂層整個膜厚，在每條線掃描數(shù)據(jù)中，光譜數(shù)據(jù)能覆蓋整個涂層的厚度，有助于監(jiān)測保護涂層厚度及其分布均勻性。
測試案例：
使用單點測試方式對3種涂層進行測量，如下圖所示：
使用SPECIM FX17高光譜相機對3種涂層厚度進行測量。
測量原理如下：
使用SPECIM FX17高光譜相機直接測量樣品膜厚，無需借助任何夾具。
使用峰值計數(shù)法計量膜厚，折射率暫定為1.6。
膜厚計算結(jié)果包含了與平面度相關(guān)的誤差，例如薄膜的傾斜變形。
測量結(jié)果如下：
與單點厚度測量儀相比，采用高光譜成像相機測量涂層厚度，可以提供涂層膜厚檢測的效率和質(zhì)量控制，對涂層厚度進行100%在線檢測，減少返工和次品率。
FG31測量結(jié)果
FG65測量結(jié)果
FP61測量結(jié)果
半導(dǎo)體測厚：
光刻膠納米級厚度測量
半導(dǎo)體芯片封裝多層膜厚測量
新能源行業(yè)：
鋰電池隔膜整面在線微米級測厚
電子行業(yè)：
3C電子顯示觸摸屏膜層測厚
光學(xué)加工行業(yè)：
光學(xué)鏡片/鍍膜元件測厚
包裝行業(yè)：
薄膜厚度生產(chǎn)線實時測量，膜厚監(jiān)控
汽車行業(yè)：
汽車車身整面測厚
車身鍍層厚度測量
發(fā)動機缸體、活塞等關(guān)鍵零部件表面膜厚測量
建筑行業(yè)：
保溫板材/裝飾板材測厚
