ZEM系列臺式掃描電鏡選型建議

在選擇ZEM臺式掃描電鏡的時候，如何根據(jù)自己的需要選擇合適的型號呢？本文將介紹ZEM系列臺式掃描電鏡不同型號各自的優(yōu)勢，用戶可根據(jù)自己的測試需要選擇合適的型號。

ZEM系列臺式掃描電鏡有ZEM  Ultra場發(fā)射臺式掃描，ZEM 20臺式掃描電鏡，ZEM Pro單晶燈絲電鏡，ZEM 18臺式掃描電鏡，ZEM 15C臺式掃描電鏡。

這幾種型號主要有以下的區(qū)別：

從核心技術(shù)來說：ZEM Ultra采用的是肖特基場發(fā)射電子槍技術(shù)；ZEM Pro使用的是單晶絲技術(shù)；ZEM 20采用的是經(jīng)典鎢燈絲技術(shù)；ZEM 18采用的是預(yù)對鎢燈絲技術(shù)，10M信號帶寬，多級防震技術(shù)；ZEM 15C采用的是預(yù)對鎢燈絲技術(shù)，多級防震技術(shù)。

從分辨率上來說：ZEM Ultra可放大50萬倍；ZEM Pro可放大36萬倍；ZEM 20可放大36萬倍；ZEM 18可放大20萬倍；ZEM 15C可放大15萬倍。

從產(chǎn)品特色上來說，ZEM Ultra可用于高精度半導(dǎo)體研究，分辨率小于2.5nm，可支持原位實驗；ZEM Pro可用于工業(yè)檢測，分辨率可達3nm，超大樣品倉，提高檢測效率；ZEM 20換樣時間僅需30秒，可選配五軸樣品臺；ZEM 18可90秒抽真空，成像快速流暢；ZEM 15C即插即用，操作簡單。